Wyniki przetargu: Prekursor ciekły dedykowany do procesów ALD wraz z pojemnikiem

Opis Przedmiotu Zamówienia Przedmiotem zamówienia jest kompleksowa dostawa zbiornika z ciekłym prekursorem BDEAS (Bis(diethylamino)silane) o czystości minimum 99% (99.999% Si), przeznaczonego do procesów osadzania warstw metodą ALD, wraz z zestawem elementów instalacyjnych umożliwiających bezpieczne podłączenie i użytkowanie zbiornika w systemie do osadzania warstw cienkich Zamawiającego. Zamówienie realizowane jest w związku z eksploatacją specjalistycznej aparatury badawczej do procesów ALD, w szczególności urządzenia klasy Beneq TFS 200.