Wyniki przetargu: Kompleksowa dostawa zbiornika z prekursorem BDEAS oraz zestawu wężyków do instalacji w urządzeniu Beneq TFS 200

Opis Przedmiotu Zamówienia Przedmiotem zamówienia jest kompleksowa dostawa zbiornika z ciekłym prekursorem BDEAS (Bis(diethylamino)silane) przeznaczonego do procesów osadzania warstw metodą ALD. Dostawa obejmuje również zestaw elementów instalacyjnych umożliwiających bezpieczne podłączenie i użytkowanie zbiornika w systemie do osadzania warstw cienkich Zamawiającego. Zamówienie zapewnia pełną kompatybilność z istniejącą infrastrukturą techniczną, w szczególności z urządzeniem klasy Beneq TFS 200, bez konieczności jej modyfikacji.