Przetarg: DOSTAWA APARATURY DO WYDAJNEGO WYTWARZANIA NANOFOTONICZNYCH STRUKTUR PÓŁPRZEWODNIKOWYCH O DUŻYCH POWIERZCHNIACH METODĄ ELEKTRONOLITOGRAFII

Opis przedmiotu zamówienia Przedmiotem zamówienia jest dostawa systemu do litografii elektronowej (EBL) do wytwarzania nanofotonicznych struktur półprzewodnikowych o dużych powierzchniach, wraz z niezbędnymi podsystemami i podzespołami do adaptacji do istniejącej bazy laboratoryjnej WTC WAT w laboratorium nr 025c (budynek 24), usługami transportu, montażu, instalacji, oprogramowaniem i szkoleniami. Główna część systemu EBL - Kolumna elektronowa: napięcie przyspieszające ≥50 kV, średnica wiązki ≤2 nm, prądy 50 pA–50 nA, stabilność ≤0.2%/godz. - Układ odchylający: częstotliwość ≥50 MHz, dwell time ≤20 ns. - Dokładność pozycjonowania plamki: ≥0.1 nm (pole 100x100 μm).