Przetarg: CEZAMAT/ZP22/2026 Dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego

Opis Przedmiotu Zamówienia Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (ang. VHF – Vapor Hydrofluoric acid etching system). Urządzenie przeznaczone jest do procesów mikro- i nano-elektroniki oraz fotoniki zintegrowanej, w szczególności do uwalniania cienkowarstwowych membran od podłoża poprzez trawienie tlenku krzemu. Specyfikacja techniczna i funkcjonalna Komora procesowa: Wykonana z materiału odpornego chemicznie, umożliwiająca procesowanie podłoży o średnicy do 200 mm (8”) oraz próbek o powierzchni do 310 cm². System dozowania: Wymienny pojemnik z fluorowodorem zabudowany w obudowie urządzenia.