Do kiedy można składać oferty w tym przetargu?

Termin składania ofert upłynął 15 stycznia 2026.

Kto ogłosił ten przetarg?

Postępowanie prowadzi Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Mikroelektroniki I Fotoniki.

Czy w tym przetargu trzeba wnieść wadium?

Zamawiający nie wymaga wadium w tym postępowaniu.

W jakim trybie prowadzone jest to postępowanie?

Zamawiający prowadzi je w trybie: przetarg nieograniczony.

Kto wygrał ten przetarg?

Zamawiający nie opublikował jeszcze wyniku tego postępowania.

F2/212/2025/ZP

Wyniki przetargu: F2/212/2025/ZP Dostawa urządzenia do plazmowego czyszczenia powierzchni.

Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Mikroelektroniki I FotonikiMazowieckieprzetarg nieograniczony

Opis zamówienia

Opis przedmiotu zamówienia Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie i testowanie urządzenia do plazmowego czyszczenia powierzchni (podłoży półprzewodnikowych, dielektryków, metalizacji) wraz z dokumentacją i szkoleniem. Główne parametry techniczne: - Źródło plazmy: Generator mikrofalowy 2.45 GHz, moc min. 1000 W, z tunerem. - Robot transferowy: Typ pick and place, sterowany Ethernet, dla podłoży: cienkie Si, grube Si, szkło, GaAs, GaN, SiC. - Gazy procesowe: Min. 4 MFC, możliwość mieszania 2-3 gazów (O2, N2, 95%N2/5%H2, SF6), linie gazowe z VCR. - Monitorowanie procesu: Wbudowany moduł OES (optical emission spectroscopy).

To skrócony opis zamówienia. Pełna dokumentacja i analiza przetargu są dostępne w Mimirze.

Przeczytaj całość na platformie Mimira