Wyniki przetargu: F2/209/2025/ZP Dostawa pieca RTP do wygrzewania metalizacji kontaktowych.

Dostawa pieca RTP do wygrzewania metalizacji kontaktowych Urządzenie do szybkiego wygrzewania termicznego (RTP) stopów metali pełniących rolę styków omowych dla laserów VCSEL. Główne cechy systemu: - Komora procesowa z kwarcu klasy półprzewodnikowej. - 21 lamp halogenowych wolframowych w układzie górnym/dolnym. - Sterowanie termoparą typu K. - Kwarcowa taca na płytki. - Susceptor z SiC dla podłoży 3". Parametry użytkowe: - Zakres temperatur: od otoczenia do 1200°C. - Czas procesu: 0,1 s do nieograniczonego. - Dokładność/stabilność: +/- 2,5°C. - Jednorodność: +/- 2,5°C na 150 mm. - Średnica podłoży: małe kawałki do 150 mm. - Szybkość narzutu: do 150°C/s.