Wyniki przetargu: F2/143/2025/ZP Dostawa urządzenia do trawienia plazmowego ICP RIE – z koniecznością grzania podłoża podczas procesu.

Opis Przedmiotu Zamówienia: Urządzenie do Trawienia Plazmowego ICP RIE z Grzaniem Podłoża Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie i testowanie fabrycznie nowego urządzenia do trawienia plazmowego metodą sprzężonej indukcyjnie plazmy (ICP RIE), wyposażonego w system grzania podłoża podczas procesu. Urządzenie to, wyprodukowane w latach 2025/2026 i nieużywane, jest przeznaczone do trawienia materiałów mikroelektronicznych, w tym półprzewodników na bazie GaN, SiC oraz Ga2O3. Całość dostarczona zostanie wraz z kompletną dokumentacją techniczną i instrukcją obsługi, a także szkoleniem personelu. 1.