Wyniki przetargu: F2/139/2025/ZP Dostawa urządzenia do trawienia plazmowego (RIE) z automatyczną pokrywą śluzy.

Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie i testowanie urządzenia do trawienia plazmowego (RIE) z automatyczną pokrywą śluzy, wraz z niezbędną dokumentacją i szkoleniem. Urządzenie ma być fabrycznie nowe i nieużywane, z roku produkcji 2025/2026. Jest przeznaczone do trawienia materiałów mikroelektronicznych techniką RIE, ze szczególnym uwzględnieniem dielektryków na bazie SiO2 i Si3N4. Realizacja zamówienia musi odbywać się zgodnie z zasadą „nie czyń poważnej szkody” (DNSH), uwzględniając oszczędność energii, przyjazność dla środowiska i jakość. Ogólne wymagania i konstrukcja systemu Rama główna: Musi zawierać pompę turbomolekularną i zawory.